如何在光学蓝宝石表面镀银?
蓝宝石晶体经过精密的研磨抛光后,达到粗糙度<0.005的无变质层表面,通过高真空PVD技术,将高纯度99.999%以上的金属银蒸发附着在其表面。如果作为反射镜使用,在金属银的表面涂敷SiO2, MgF2等以作为保护,防止金属银裸露空气中产生氧化而降低反射率。
上述作为反射用的银涂层,一般厚度比较薄,几十到一、两百纳米足以。如何制作厚度超过2000nm的厚膜呢?受限于常规真空镀膜设备的硬件配备,2000nm以上厚度的厚膜无法一次性完成。而中途多次将产品暴露于空气中,一方面会增加脏污附着的可能,另一方面会导致表面的氧化而影响整体的结合。因此,在不考虑相当耗时的前提下,专用的溅射方式似乎最可靠的方法。
是否有更好的方法,既能快速的完成镀膜,又能一次性达到2000nm以上的厚度呢?爱泰克光电ITECOE研发并设计了多坩埚,多点位,分段式蒸发镀膜的设备及工艺方法。能够实现金属银厚膜的一次性镀制并满足各项性能指标。